主要规格及技术指标

X射线源: 微聚焦单色化AlKα X射线源
采谱能量分析器: 180°半球能量分析器
能量分辨率: ≤0.45eV@Ag3d5/2峰
成像分辨率: ≤3μm
能量扫描范围: 0—5000eV
紫外光电子能谱（UPS）
反射电子能量损失谱（REELS）
离子散射谱（ISS）

主要功能及特色

X射线光电子能谱仪（XPS）能够了解样品中元素的组成、化合价和存在形式。通
过测量电子动能得到电子结合能，提供分子状态、原子价态、化合物元素组成和
含量、化学状态、化学键等信息。XPS可用于样品元素的定性和定量分析、固体表
面分析、化合物结构鉴定等，可应用于高分子材料、微电子材料和化工与催化材
料等传统研究领域以及生物医学材料、纳米材料、新能源材料等新兴前沿学科。

主要附件及配置

无