主要规格及技术指标

电子源: 单色器肖特基场发射电子枪
分辨率: 0.6nm@2-15KV, 1.0nm@500V
放大倍率: 30—2000000倍
电压范围: 0.35KV—30KV
电流范围: 0.8pA—100nA
电子束减速模式
着陆电压：20V—30KV
探测器: TLD/ETD/ICD/MD/STEM
EDS: EDAX Octane Elect Super
EBSD: EDAX Orion Plus
离子溅射仪: Cressington 108Auto
喷碳仪: Cressington 108C

主要功能及特色

Verios 5 UC扫描电子显微镜具有超高的图像分辨率，可获得材料形貌、元素分布、
晶体取向、应力分布等信息，广泛用于金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿
物、生物学、医学、产品检验及公安刑侦等领域。在成像能力方面，Verios 5 UC成
像时间更短，在低电压下也可轻松获取高衬度亚纳米分辨率图像，可以直接观察电
子束敏感以及磁性样品，获得更精细的材料内部结构。

主要附件及配置

无